耐高温压力传感器_高温压力传感器 600°c

《前沿技术：高温传感器的核心类型与特性》

一、核心技术类型一览

让我们深入几种高温传感器的核心类型及其独特之处。

1. SOI技术传感器：基于绝缘体上硅（SOI）技术，这款传感器通过介电隔离实现了无PN结结构。其工作温度惊人地达到了593°C（1100°F）。测试数据表明，它在高达760°C（1°F）的温度下仍能保持介电稳定性。典型产品如Kulite的无铅传感器，已经在航空发动机等极端环境中展现了其压力测量稳定性的出色表现。

2. SiC碳化硅传感器：这款全碳化硅结构的光纤法珀式传感器，融合了超声加工和先进的键合技术。它能在600°C的高温下精确测量0至4MPa的压力，线性度高达R>0.99。碳化硅材料本身的耐温性能超过1000°C，使其成为涡轮叶片监测等高温场景的绝佳选择。

3. 无机绝缘电感类传感器：这款传感器采用SiO无机绝缘漆包线，是电涡流/LVDT传感器的一种。它的工作范围覆盖了260°C至1000°C的超高温区间，为工业设备的超高温监测提供了可靠支持。

二、典型产品参数详述

以下是几种高温传感器的详细参数介绍：

SOI无铅传感器：由Kulite公司生产，可承受至760°C的高温，具有低泄漏电流和5至1000PSI的量程。

光纤法珀传感器：国内研发的这款全SiC结构传感器，可在600°C下工作，其灵敏度高达104.42nm/MPa。

溅射薄膜传感器和扩散硅传感器则分别由CSPPM和西安泾芯科创生产，它们各自具有压阻式模拟信号输出和价格优势，适用于不同的应用场景。

三、应用领域概览

高温传感器在多个领域发挥着关键作用：

在核工业中，双余度压力传感器用于核反应堆冷却剂的压力监测，其耐辐照和强腐蚀的特性至关重要。

在航空航天领域，航空发动机燃烧室的高温压力监测需要承受高达1000°C以上的温度。

能源设备如燃气轮机和燃煤锅炉也依赖于高温传感器来进行高温压力控制。

四、技术挑战与突破

尽管高温传感器技术取得了显著进展，但仍面临一些技术挑战：

材料热应力是影响传感器性能的关键因素，特别是在高温环境下。多晶硅传感器在200°C以上会因热膨胀系数差异而导致性能下降。

封装工艺也是高温传感器量产的瓶颈之一。高温下的键合强度和气密性是SiC传感器量产的关键挑战。

在选择具体产品时，建议根据应用场景的参数（如压力范围、介质类型等）进行选型。高温传感器技术在多个领域具有广泛的应用前景，随着技术的不断进步，我们期待更多的突破和创新。